KY 电容膜片真空计
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴
CDG025D-X3 0.1 ...1000 乇/毫巴

CDG045D 0.05 ...1000 乇/毫巴
CDG100D 0.1 ... 1000乇/毫巴

CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴

SKY 电容膜片真空计
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴

SKY 电容膜片真空计
CDG045D 0.05 ...1000 乇/毫巴

INFICON SKY CDG045D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的选择.为实
现的讯号稳定性和再现性, CDG045D 真空计是在 45°C 下温度控制的. 可供应
的真空计包括全量程范围从 50 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场
总线接口和提供线性 0 至 10 V, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计
采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速
地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效
益的压强传感器用于高要求的真空应用 .
优势
拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗
易集成,规格齐全的 全量程, 法兰和接口 , 标准型号有
两个设点
简易的一键按钮或运距讯号调零指令,零点偏移可调整
诊断口用于快速服务和维护
两年保用期,带有先进的加热概念和真空计保护的长
使用寿命
由于的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子
应用中也无长期再校准的需要
兼容性和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
应用
刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体过程
化学和腐蚀性的真空过程
一般薄膜和真空过程
参考传感器用于按国际标准监测测试仪器
传递标准用于可追踪的测量