美国MKS流量计
美国MKS INSTRUMENTS成立于1961年,作为半导体零部件的供应商,在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处,美国万机仪器MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术,延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术,其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。美国MKS产品包括:美国MKS流量计、MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀。
代表型号:AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUMB5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513, SUREPOWERQL6513, SUREPOWER QL10513, SUREPOWER QL13013,OPTIMA OPT-50, OPTIMA OPT-100, OPTIMA OPT-200, OPTIMA OPT-400,OPTIMA OPT-600,RPG-50,RPG-100,ENI-RFPC,MWH-5,MW-10D,ENI-2500-13.56,MWH-100,MWH-25,VIPROBE,1249A,148JA11CR1M, 148JA12CR1M, 148JA13CR1M, 148JA14CR1M, 148JA21CR1M, 148JA22CR1M, 148JA23CR1M,
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
MKS Baratron Pressure Switch (41A & 51A)
MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
MKS 621C13TBFHD BARATRON SIGNAL CONDITIONER PRESSURE
MKS PAR-10 BARATRON
MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 850BRDPCB4GH
MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBETEL UNITY II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORRTEL UNITY II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORR
MKS BARATRON PRESSURE SWITCH 51A 450 Torr VCR 1000 -NEW
MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999
CTI(Ulvac)低温泵和氦气压缩机维修、销售和技术咨询8200/9600
CTI(Ulvac)低温泵和氦气压缩机维修、销售和技术咨询。
OB8F:
OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.
. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.
. Certificate of manufactures conbity attached.
. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box
. CTI Part # 8116143G001 Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371
8200: 8032559G001
美国CTI压缩机维修9600: 8135900G001
MKS354005-YD-T
INFICON BAG302 B-A 型热阴极电离真空计(中高真空计)
INFICON 单台 Bayard-Alpert 热离子计 BAG302 的测量范围从 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr)。紧凑型一体化热离子计BAG302提供易于更换的双灯丝传感器,内置OLED显示屏,设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成的RS485数字接口,可提高集成灵活性。这些功能与坚固的设计相结合,使BAG302成为一种经济实惠且可重复的过程,可作为自己的压力测量仪器的基础,并提供高价值/低拥有成本的选择。
INFICON 的 BAG302 热离子计是下面列出的 MKS/GP 部件号的直接直接替代品。 这还包括较旧的传统 MKS 354 微离子®模块。
MKS系列 | 部件号 | 显示 | 单位 | 输出 | 法兰型 | 灯丝 | INFICON部件号 |
355 微离子®
|
355400-0-码 | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355400-0-叶-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
355 微离子® | 355400-0-YK-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355400-0-YF-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
355 微离子® | 355400-0-YG-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
355 微离子®
|
355400-0-码 | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355400-0-叶-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子® | 355400-0-YK-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355400-0-YF-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355400-0-YG-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
355 微离子®
|
355400-0-码 | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355400-0-叶-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
355 微离子® | 355400-0-YK-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355400-0-YF-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
355 微离子® | 355400-0-YG-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
355 微离子®
|
355600-0-码 | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355600-0-叶-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子® | 355600-0-YK-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355600-0-YF-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355600-0-YG-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
355 微离子®
|
355600-0-码 | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355600-0-叶-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
355 微离子® | 355600-0-YK-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355600-0-YF-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
355 微离子® | 355600-0-YG-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
355 微离子®
|
355600-0-码 | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355600-0-叶-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
355 微离子® | 355600-0-YK-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355600-0-YF-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
355 微离子® | 355600-0-YG-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
355 微离子®
|
355410-0-码 | 不 | 托 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
355 微离子®
|
355410-0-叶-T | 不 | 托 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
355 微离子® | 355410-0-YK-T | 不 | 托 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
355 微离子® | 355410-0-YF-T | 不 | 托 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
355 微离子® | 355410-0-YG-T | 不 | 托 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
|
|
|
|
|
|
|
354 微离子®
|
354001-YD-T (传统产品) | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354001-YE-T (传统产品) | 不 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354001-YK-T (传统产品) | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354001-YF-T (传统产品) | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354001-YG-T (传统产品) | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354001-YD-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354001-YE-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354001-YK-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354001-YF-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354001-YG-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354001-YD-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354001-YE-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354001-YK-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354001-YF-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354001-YG-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354002-YD-T (传统产品) | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354002-YE-T (传统产品) | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354002-YK-T (传统产品) | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354002-YF-T (传统产品) | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354002-YG-T (传统产品) | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354002-YD-M (传统产品) | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354002-YE-M (传统产品) | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354002-YK-M (传统产品) | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354002-YF-M (传统产品) | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354002-YG-M (传统产品) | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354002-YD-P (传统产品) | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354002-YE-P (传统产品) | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354002-YK-P (传统产品) | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354002-YF-P (传统产品) | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354002-YG-P (传统产品) | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354005-YD-T (传统产品) | 不 | 托 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354005-YE-T (传统产品) | 不 | 托 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354005-YK-T (传统产品) | 不 | 托 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354005-YF-T (传统产品) | 不 | 托 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354005-YG-T (传统产品) | 不 | 托 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354005-YD-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354005-YE-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354005-YK-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354005-YF-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354005-YG-M (传统产品) | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
354 微离子®
|
354005-YD-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
354 微离子®
|
354005-YE-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
354 微离子® | 354005-YK-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
354 微离子® | 354005-YF-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
354 微离子® | 354005-YG-P (传统产品) | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的简称,中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。艾司摩尔(ASML)为半导体设备供货商,成立于1984年,是从荷商飞利浦分割出来独立的半导体设备公司,总部设立于荷兰的Veldhoven。
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Inb),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。
ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。