深圳市天铉真空技术有限公司日本爱发科真空镀膜机坩埚，镀锅，坩埚盖板

  型 式：1300DBI

产品参数：

产品名： 

GENER-1300DBI  

型 式：

1300DBI 

产品参数： 

产品参数： 

真空室SUS304,Ф1300×1610mm(H)

工件架Ф1200mm

工件架转速10rpm to 30rpm(可变)

光学膜厚控制 HOM2-R-VIS400A（可选）

光学膜厚监控仪波长范围：400nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源电子枪2套

离子源GL离子源

排气系统机械泵

1个扩散泵

Polycold 

性能  

达到压力5.0×10-5Pa以下

排气时间15分

（大气压～1.3×10-3Pa）

基板温度高：350℃ 

工作条件  

设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)

电源3相,200v,50/60Hz,约101KVA

水流量140升/分以上

空气压力0.5MPa以上

重量约9000kg  

产品名：GENER-1300DBI