深圳市天铉真空技术有限公司日本爱发科真空镀膜机坩埚,镀锅,坩埚盖板
型 式:1300DBI
产品参数:
产品名:
GENER-1300DBI
型 式:
1300DBI
产品参数:
产品参数:
真空室SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架Ф1200mm
工件架转速10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS400A(可选)
光学膜厚监控仪波长范围:400nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源GL离子源
排气系统机械泵
1个扩散泵
Polycold
性能
达到压力5.0×10-5Pa以下
排气时间15分
(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度高:350℃
工作条件
设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz,约101KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约9000kg
产品名:GENER-1300DBI