INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪深圳市天铉真空技术有限公司
高精度连续镀膜控制或共镀膜控制
凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格,INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号:连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。
功能
零件号
规格
类型
SQC-310
SQC-310C
测量
QCM 输入
2 (4 optional)
4
测量频率范围
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1)
± 0.012 Hz
± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)
±0.015 Å
±0.015 Å
频率稳定性
± 2 ppm total, 0 to 50C
± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期
0.10 to 1.0 s (adjustable)
0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示
0.01 Å/sec
0.01 Å/sec
控制
存储
100 processes, 1000 layers, 50 films
100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出
2 (4 optional)
4
输出信号
± 0 to 10 VDC, 15 bits
± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器
8/8 (16/16 optional)
16/16
数字输入
5 VDC non-isolated
5 VDC non-isolated
继电器
SPST Form 1A, 30V, 2A max
SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制
Optional (IPN 782-900-017)
Optional (IPN 782-900-017)
显示器
类型
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表
Rate, deviation, power or full screen numeric
Rate, deviation, power or full screen numeric
一般
功率
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合规性
CE, RoHS
CE, RoHS
Windows® 软件
Included
Included
壳体/安装
5 1/4” half-rack
5 1/4” half-rack
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.25 秒测量间隔