产品简介
INFICON SQC-310膜厚控制仪英福康真空计
INFICON SQC-310膜厚控制仪英福康真空计
产品价格:¥59999
上架日期:2021-09-17 20:41:39
产地:广东深圳市
发货地:广东深圳市
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明

    INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪深圳市天铉真空技术有限公司

    高精度连续镀膜控制或共镀膜控制


    凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格,INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号:连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。

    功能

    • 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
    • 标准 RS-232 和 USB(可选 RS-232 和以太网)
    • 设有“Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作
    • 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序,以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
    • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz
    • 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
    • 使用单传感器或多传感器监控源材料,提供精确的源分布监控

    零件号


    规格

    类型 SQC-310 SQC-310C
    测量    
    QCM 输入 2 (4 optional) 4
    测量频率范围 Adjustable:
    1.0 MHz minimum
    6.5 MHz maximum
    Adjustable:
    1.0 MHz minimum
    6.5 MHz maximum
    频率分辨率 (1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
    厚度和速率分辨率/测量 (2) ±0.015 Å ±0.015 Å
    频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
    测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
    速率显示 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
    控制    
    存储 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
    控制输出 2 (4 optional) 4
    输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
    数字输入/继电器 8/8 (16/16 optional) 16/16
    数字输入 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
    继电器 SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
    接口 Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
    远程电源控制 Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
    显示器    
    类型 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
    图表 Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
    一般    
    功率 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
    合规性 CE, RoHS CE, RoHS
    Windows® 软件 Included Included
    壳体/安装 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
    (1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
    (2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

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