尼康干涉物镜
5X/10X/20X/50X/100X
干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来，Michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的焦深。Mir
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尼康干涉物镜CF PLAN EPI 2.5X Ti/5X

尼康干涉物镜CF PLAN EPI 2.5X Ti/5X

干涉物镜

2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
工作距离（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
NA（数值孔径） 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
空间采样（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
光学分辨率 蓝光（L&S）（mm）3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光学分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT 0.01nm）