OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine2200M-R招商信息-机电一体化网

产品简介

OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine2200M-R

产品价格：￥22.22

上架日期：2024-11-07 18:19:31

产地：上海市闵行区

发货地：上海市闵行区

供应数量：不限

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详细说明

产品参数
品牌	OSAKA
吸气口法兰	ISO-B250 / VG250
排气口法兰	KF40 / KF50
排气速度N2 (L/s)	2200
起动时间	≦10min
排气速度H2 (L/s)	1800
zui大压缩比N2	2×108
zui大压缩比H2	3×103
安装方向	任意
可售卖地	北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
型号	TGkine2200M-R

OSAKA大阪真空

TGkine-R系列磁悬浮复合分子泵

具备了磁悬浮复合分子泵(控制器?电源一体型)TGkine-B系列稳定的产品性能及广受好评的特性，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。

产品特点：

省电设计??????
在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。?
　※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。??????
支持多种通信接口规格（兼容EtherCAT通信协定）??????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2产品应用：半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器技术参数：

型号※1		TGkine2200M-R
吸气口法兰		ISO-B250 / VG250
排气口法兰※2		KF40 / KF50
排气速度	N2?(L/s)	2200
	N2 (付带金属保护网)?(L/s)	2100
	H2?(L/s)	1800
zui大压缩比	N2	>2×108
zui大压缩比	H2	3×103
zui大气体流量※3、※4	N2?(sccm)	7000
zui大气体流量※3、※4	Ar?(sccm)	3000
起动时间	(min)	≦10
停止时间	(min)	≦10
到达压力※5	(Pa)	<2×10-7
到达压力※5	(Torr)	<1.5×10-9
zui大排气口压力※6	(Pa)	220
zui大排气口压力※6	(Torr）	1.65
推荐前级泵	(L/min)	≧2000
安装方向		任意
质量	(kg)	59