产品参数 | |||
---|---|---|---|
品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 | ||
极限压力 | 1×10-6Pa | ||
启动时间 | 2-2.5min | ||
停止时间 | 5-6.5min | ||
安装角度 | 任意 | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 |
OSAKA大阪真空
全方位安装复合分子泵 TG-F系列
使用了脂润滑陶瓷轴承,实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动,耐冲击能力强,可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部,拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ~ 2400L/s的产品。
产品型号:
TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F
TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F
产品特点:
全方位安装
?轻巧设计
?节能
?迅速启动
?使用破控功能可迅速停止
?耐大气冲击能力强
?多种通信模式
?符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
产品应用:
半导体制造
?电子枪排气,离子源排气
?FPD制造
?表面处理,表面改质
?各种电子部件的制造
?分析,试验装置
?管球制造,光学部件制造
?加速器,放射线设施,核聚变研究
?热处理
?研究开发
※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列
技术参数:
吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
排气速度 | VG/ISO-R?CF N2?(L/s) | 350/330 |
VG/ISO-R?CF N2(附加金属保护网) (L/s) | 330/310 | |
VG/ISO-R?CF H2?(L/s) | 210 | |
zui大压缩比 | N2 | 1×108 |
H2 | 2×103 | |
极限压力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
zui大气体流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
启动时间 | (min)? | 2-2.5 |
停止时间 | (min) | 5-6.5 |
允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
安装角度 | 任意 | |
重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
控制器型式 | TC353 |
输入电压(ACV) | 100-110 (±10) / 200-230 (±10) |
输入频率(Hz) | 50/60 |
相数 | 単相 |
所需zui大电力(VA) | 610 |
输出频率(Hz) | 750 |
重量(kg) | 2.7 |
标准附属品 | ?输入接头 1个 ?远控接插头 1个 ?通信接插头1个 ?使用说明书 (机身,通信)各1套 |