产品简介
OSAKA大阪真空全方位安装复合分子泵TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安装复合分子泵TG-F系列
产品价格:¥22.22
上架日期:2024-11-07 18:19:21
产地:上海市闵行区
发货地:上海市闵行区
供应数量:不限
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详细说明
    产品参数
    品牌OSAKA大阪真空
    吸气口法兰VG100 CF100 ISO-R100
    极限压力1×10-6Pa
    启动时间2-2.5min
    停止时间5-6.5min
    安装角度任意
    可售卖地北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆


    OSAKA大阪真空

    全方位安装复合分子泵 TG-F系列

    使用了脂润滑陶瓷轴承,实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动,耐冲击能力强,可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部,拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ~ 2400L/s的产品。

    产品型号:

    TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

    TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

    产品特点:

    全方位安装
    ?轻巧设计
    ?节能
    ?迅速启动

    ?使用破控功能可迅速停止

    ?耐大气冲击能力强

    ?多种通信模式

    ?符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

    产品应用:

    半导体制造
    ?电子枪排气,离子源排气
    ?FPD制造
    ?表面处理,表面改质
    ?各种电子部件的制造
    ?分析,试验装置
    ?管球制造,光学部件制造
    ?加速器,放射线设施,核聚变研究
    ?热处理
    ?研究开发

    ※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列


    技术参数:

    吸气口法兰VG100
    CF100
    ISO-R100
    排气速度VG/ISO-R?CF N2?(L/s)350/330
    VG/ISO-R?CF N2(附加金属保护网) (L/s)330/310
    VG/ISO-R?CF H2?(L/s)210
    zui大压缩比N21×108
    H22×103
    极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
    zui大气体流量※1N2 (sccm)500
    启动时间(min)?2-2.5
    停止时间(min)5-6.5
    允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
    推荐辅助泵(L/min)≧80
    安装角度任意
    重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
    • ※1:辅助泵的容量是160L/min情况下的zui大容许流量
    • [ 使用环境温度 ]
    • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。

    • 控制器型式TC353
      输入电压(ACV)100-110 (±10) / 200-230 (±10)
      输入频率(Hz)50/60
      相数単相
      所需zui大电力(VA)610
      输出频率(Hz)750
      重量(kg)2.7
      标准附属品?输入接头 1个
      ?远控接插头 1个
      ?通信接插头1个
      ?使用说明书 (机身,通信)各1套



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