产品简介
.jpg "OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine2200M-R")
详细说明
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA | ||
| 吸气口法兰 | ISO-B250 / VG250 | ||
| 排气口法兰 | KF40 / KF50 | ||
| 排气速度N2 (L/s) | 2200 | ||
| 起动时间 | ≦10min | ||
| 排气速度H2 (L/s) | 1800 | ||
| zui大压缩比N2 | 2×108 | ||
| zui大压缩比H2 | 3×103 | ||
| 安装方向 | 任意 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | TGkine2200M-R | ||
OSAKA大阪真空
TGkine-R系列磁悬浮复合分子泵
具备了磁悬浮复合分子泵(控制器?电源一体型)TGkine-B系列稳定的产品性能及广受好评的特性，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。
产品特点：
省电设计??????在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。?
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。??????
支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）??????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2产品应用：半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器技术参数：
| 型号※1 | TGkine2200M-R | |
| 吸气口法兰 | ISO-B250 / VG250 | |
| 排气口法兰※2 | KF40 / KF50 | |
| 排气速度 | N2?(L/s) | 2200 |
| N2 (付带金属保护网)?(L/s) | 2100 | |
| H2?(L/s) | 1800 | |
| zui大压缩比 | N2 | >2×108 |
| H2 | 3×103 | |
| zui大气体流量※3、※4 | N2?(sccm) | 7000 |
| Ar?(sccm) | 3000 | |
| 起动时间 | (min) | ≦10 |
| 停止时间 | (min) | ≦10 |
| 到达压力※5 | (Pa) | <2×10-7 |
| (Torr) | <1.5×10-9 | |
| zui大排气口压力※6 | (Pa) | 220 |
| (Torr） | 1.65 | |
| 推荐前级泵 | (L/min) | ≧2000 |
| 安装方向 | 任意 | |
| 质量 | (kg) | 59 |
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