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产品简介

$OSAKA大阪分子泵TGkine3300M-R\/TGkine3400M-R$

OSAKA大阪分子泵TGkine3300M-R\/TGkine3400M-R

产品价格：￥28.89

上架日期：2024-03-21 14:33:09

产地：上海市闵行区

发货地：上海市闵行区

供应数量：不限

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详细说明

产品参数
OSAKA大阪分子泵 TGkine3300M-R / TGkine3400M-R 品牌	OSAKA大阪真空
吸气口法兰	VG300 / ISO-B320
排气口法兰	KF40 / KF50
排气速度N2 (L/s)	3300/3100
排気速度H2 (L/s)	2700
大压缩比N2 (sccm)	2600
大压缩比Ar (sccm)	1900
起动时间	≦11min
停止时间	≦13min
可售卖地	北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
型号	TGkine3300M-R / TGkine3400M-R

OSAKA大阪磁悬浮分子泵TGkine3300M-R / TGkine3400M-R产品特点：
省电设计?????
在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。?
　※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。?????
支持多种通信接口规格（兼容EtherCAT通信协定）?????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2产品用途：半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器
技术参数：

型号※1		TGkine3300M-R	TGkine3400M-R
吸气口法兰		VG300 / ISO-B320	VG350
排气口法兰※2		KF40 / KF50
排気速度	N2?(L/s)	3300
	N2 (付带金属保护网)?(L/s)	3100
	H2?(L/s)	2700
zui大压缩比	N2	>1×108
	H2	3×103
zui大气体流量※3、※4	N2?(sccm)	2600
	Ar?(sccm)	1900
起动时间	(min)	≦11
停止时间	(min)	≦13
到达压力※5	(Pa）	<2×10-7
	(Torr）	<1.5×10-9
zui大排气口压力※6	(Pa)	110
	(Torr）	0.82
推荐前级泵	(L/min)	≧2000
安装方向		任意
质量	(kg)	64 / 65	67