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产品简介

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OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R\/TGkine4200M-R

产品价格：￥33.33

上架日期：2024-03-21 14:32:59

产地：上海市闵行区

发货地：上海市闵行区

供应数量：不限

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详细说明

产品参数
OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R / TGkine4200M-R 品牌	OSAKA大阪真空
重量	72KG
驱动方式	电动
输送介质	空气
吸气口法兰	VG300 / ISO-B320/VG350
排气口法兰	KF40/KF50
排気速度N2 (L/s)	3600/4200
排気速度H2 (L/s)	2700
起动时间	≦12min
停止时间	≦14min
安装方向	正立或倒立安装
可售卖地	北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
型号	TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

OSAKA分子泵大阪分子泵

TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

产品特点：

省电设计??????
在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。?
　※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。??????
支持多种通信接口规格（兼容EtherCAT通信协定）??????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
产品应用：半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器技术参数：

型号※1		TGkine3800M-R	TGkine4200M-R
吸气口法兰		VG300 / ISO-B320	VG350
排气口法兰※2		KF40 / KF50
排气速度	N2?(L/s)	3600	4200
	N2(付带金属保护网)?(L/s)	3400	4000
	H2?(L/s)	2700	2700
zui大压缩比	N2	>2×108
	H2	2×103
zui大气体流量※3、※4	N2?(sccm)	2800
	Ar?(sccm)	1300
起动时间	(min)	≦12
停止时间	(min)	≦14
到达压力※5	(Pa）	<5×10-7
	(Torr）	<3.8×10-9
zui大排气口压力※6	(Pa)	160
	(Torr）	1.2
推荐前级泵	(L/min)	≧2000
安装方向		正立或倒立安装
质量	(kg)	72 / 74	70