产品参数 | |||
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品牌 | 贝意克 | ||
尺寸 | 1600mm*650mm*1400mmcm | ||
底座 | 带轮子 | ||
杆长 | 230 | ||
产品规格 | BTF-1200C-S-R-PECVDmm | ||
控温方式 | 7 |
迷你智能型等离子体可回转化学气相沉积系统
1.该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;
2.该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以实现低压条件下的实验,针对低温石墨烯、碳纳米管生长等。PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。