我们的解决方案包括气体和流量控制器、汽化、自动补液、气体发生器、超纯水监测仪和化学浓度监测仪。流体控制

HORIBA 拥有多种产品以您的流体测量和控制要求。

在各种制造和研究实验室中，我们提供气体和的测量和可靠控制。HORIBA 是高性能流量计、流量控制器、自动压力控制器和汽化的，用于整个半导体制造行业。

流量控制

D500

压力控制

GR-200

液源汽化

压力控制

HORIBA 提供多种压力控制产品，用于监测、调节或控制供气管线中的压力。

HORIBA 压力控制产品包括数字高性能压力传感器和压电阀。它们可以帮助由切换高流量管线引起的串扰影响。

HORIBA 晶圆冷却使用氦气来热损伤，我们的排气压力控制器可保持腔室中的压力水平一致。DZ-100

DZ-100 超薄流量控制器

超薄流量控制器

DZ-100 继承了与 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技术——一种用于层流粘性流量范围的压差检测。这种创新技术可以高精度地控制各种气体的流量。与 D500 一样，用户可配置的 DZ-100 支持多量程和多气体应用。MFC的紧凑设计了内部气体流路的内部体积，的控制算法了响应特性。它采用具有高处理能力的紧凑型 CPU，压电驱动电路和控制 CPU 安装在 MFC 模块中，而电源组件则安装在单独的小型控制箱中。通过将它们与专用微型连接器连接，多可以控制四个 MFC 模块。

细分市场：半导体

部门：流体控制

制造公司：HORIBA STEC, Co Ltd.

紧凑的自加热设计

创新电极结构带来的高性能和高性

镍合金隔膜具有优异的耐腐蚀性

设定点输出（2点）

输出

通过专用进行量程

一键归零

电源要求 /-15VDC 或 24VDC

符合 CE 和 RoHS

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