产品参数 | |||
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品牌 | 天铉 | ||
重量 | 0.17k | ||
功耗 | >1.2W | ||
防护等级 | 40 | ||
压力范围 | 6bar | ||
测量范围 | 1000 | ||
分辨率 | 16bit | ||
工作温度 | -40℃-75℃ | ||
原理 | 皮拉尼 | ||
响应时间 | 100ms | ||
数量 | 6541852 | ||
可售卖地 | 全国 |
我们的解决方案包括气体和流量控制器、汽化、自动补液、气体发生器、超纯水监测仪和化学浓度监测仪。流体控制
HORIBA 拥有多种产品以您的流体测量和控制要求。
在各种制造和研究实验室中,我们提供气体和的测量和可靠控制。HORIBA 是高性能流量计、流量控制器、自动压力控制器和汽化的,用于整个半导体制造行业。
流量控制
D500
压力控制
GR-200
液源汽化
压力控制
HORIBA 提供多种压力控制产品,用于监测、调节或控制供气管线中的压力。
HORIBA 压力控制产品包括数字高性能压力传感器和压电阀。它们可以帮助由切换高流量管线引起的串扰影响。
HORIBA 晶圆冷却使用氦气来热损伤,我们的排气压力控制器可保持腔室中的压力水平一致。DZ-100
DZ-100 超薄流量控制器
超薄流量控制器
DZ-100 继承了与 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION? 技术——一种用于层流粘性流量范围的压差检测。这种创新技术可以高精度地控制各种气体的流量。与 D500 一样,用户可配置的 DZ-100 支持多量程和多气体应用。MFC的紧凑设计了内部气体流路的内部体积,的控制算法了响应特性。它采用具有高处理能力的紧凑型 CPU,压电驱动电路和控制 CPU 安装在 MFC 模块中,而电源组件则安装在单独的小型控制箱中。通过将它们与专用微型连接器连接,多可以控制四个 MFC 模块。
细分市场:半导体
部门:流体控制
制造公司:HORIBA STEC, Co Ltd.
紧凑的自加热设计
创新电极结构带来的高性能和高性
镍合金隔膜具有优异的耐腐蚀性
设定点输出(2点)
输出
通过专用进行量程
一键归零
电源要求 /-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS
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