量程(N2)

10SCCM-20SLPM

精度

±1.0%SP(＞35%FS)、

±0.35%FS(≤35%FS)

重复性

±0.25%FS

有效范围

2-100%

响应时间

1秒以内

耐压

1.0Mpa

进口最大压力

0.5Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

温度范围

5~50℃

精度保证温度

15~35℃

保存温度

-10~60℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SUS316L

密封圈VITON，选配NBR或FKM

电气接口

DB15

通讯接口

圆形4芯、RS485

模拟输出

0-5V、4-20mA

报警输出3点

NPN、3点、最大35V、50mA

供电

+24VDC(±10%)300mA；

管路连接

标配1/4F9

选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

重量

约800g