Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸气能力 产品描述 使用集成驱动电子设备 OBC 或外部 Magpower 驱动电子设备运行 用于在所有情况下的安装 水冷 带有CE标志且符合 RoHS 标准 加热版本（MT）可用于腐蚀性应用 ATH 1600 MT，DN 200 CF-F，外部驱动电子设备，水冷，加热 订单号: P6522103 Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1360 l/s 的吸气能力 法兰 DN 200 CF-F 适用于超高真空时要求严苛的应用 使用外部Magpower 驱动电子设备运行 用于在所有情况下的安装 水冷，加热 带有CE标志且符合 RoHS 标准 技术参数 Ar 的压缩比 > 1 · 108 Ar 的抽速 1280 l/s Ar 的最大转速时的气体流量，75 °C 的被加热的泵 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s Ar 的气体流量 20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s H2 的压缩比 > 5 · 102 H2 的抽速 540 l/s H2 的最大转速时的气体流量，75 °C 的被加热的泵 > 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s H2 的气体流量 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s He 的压缩比 > 4 · 103 He 的抽速 940 l/s He 的气体流量 > 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s I/O 接口 通过外部驱动电子设备 N2 的压缩比 > 1 · 108 N2 的抽速 1360 l/s N2 的最大转速时的气体流量，75 °C 的被加热的泵 16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s N2 的最大预真空 2.2 百帕 N2 的气体流量 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s 不带气镇的最终压力 < 6 · 10-9 百帕 允许冷却水的温度 15 – 25 °C 摄氏度 冷却水消耗最小值 60 l/h 冷却水耗量 60 l/h 冷却类型 水 冷却类型，标准 水 分离的驱动电气设备 是 声压水平 ≤48 dB(A) 分贝 (A) 安装方向 任何 工作电压 200 – 240 / 200 – 240, 50/60 Hz V AC 方位 配有磁轴承 最终压力 < 6 · 10-9 百帕 最终压力时的功率消耗 300 瓦 电子驱动单元 外部驱动电子设备 耗电量 max. 650 瓦 腐蚀性气体的版本 是 转速 ± 2 % 39,000 rpm | 39,000 min-1 运行时间 1 · 108 Ar 的抽速 1280 l/s Ar 的最大转速时的气体流量，75 °C 的被加热的泵 8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s