芯片厂对洁净室要求都比较高，以下例举了芯片厂常用的空气过滤箱要求给大家做个参考：

1、  空气过滤箱外壳采用普通冷板，内部板材及隔板安装件均为304不锈钢板制成，钢板厚度可在满足强度基础上，厂家自己 决定；过滤箱有不低于40mm厚保温层，保温材料不能直接外露；保温材料坐在内部要保证不会有材料被风吹掉渣，

2、  过滤器顺序、中效过滤器，高效过滤器，活性炭过滤器；其中活性炭过滤放置位置请厂家给予意见，说明优劣；

3、  提供密封结构示意图，所用胶或密封垫的材质明细，我们要求不能有甲醛 甲苯成分挥发存在；

4、  更换空气过滤器门的结构，及箱体密封材料；过滤器更换结构上采用插结构，抽屉式；

5、  我方提出的过滤器参数要求如何保证、依据。

空气过滤箱参数要求；

净化效率；中效过滤器60%，

高效过滤器对大于等于 0.3微米过滤作用高于99.97%，

活性炭过滤器的净化效率大于90%；

外观颜色为淡灰，内部过滤器上的金属材质换成铝合金；

风量要求1800立方米每小时；

原文来源：http://www.klcfilter.com/   黄生 13570963007