面积㎡
|
洁净度级别
|
||
100
|
10,000
|
100,000
|
|
<10
|
2~3
|
2
|
2
|
≥10~<20
|
4
|
2
|
2
|
≥20~<40
|
8
|
2
|
2
|
≥40~<100
|
16
|
4
|
2
|
≥100~<200
|
40
|
10
|
3
|
≥200~<400
|
80
|
20
|
6
|
≥400~<1000
|
160
|
40
|
13
|
≥1000~<2000
|
400
|
100
|
32
|
2000
|
800
|
200
|
63
|
注:表中的面积,对于单向流洁净室,指的是送风面积;对于非单向流洁净室,指的是房间面积。
|
洁净度级别
|
采样量,L/次
|
|
≥0.5um
|
≥5um
|
|
100
|
5.66
|
—
|
10,000
|
2.83
|
8.5
|
100,000
|
2.83
|
8.5
|
A=
|
C1+C2+…+Cn
|
N
|
M=
|
A1+A2+…+An
|
L
|
SE=
|
(A1-M)2+(A2-M)2+…(AL-M)2
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