产品特点
l Ÿ XYZ行程300mm*300mm*150mm
l Ÿ 三轴大中空结构
l Ÿ 双直驱线轨结构
l Ÿ 龙门交叉解耦控制算法
l Ÿ 定位精度±0.6μm
l Ÿ 全行程直线度±0.9μm
l Ÿ 优化线缆管理系统
l Ÿ 结构、行程可定制
应用领域
RBZK-300XY-150Z三轴中空精密运动台用于光学检测。
产品简介
三轴中空精密运动平台采用双直线电机驱动，精密滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，行程300mm*300mm*150mm，三轴均为双驱龙门结构，采用龙门交叉解耦算法，保证双驱运动一致性，定位精度±0.6μm，中间带大通孔应用于光学检测领域。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。
规格指标
|
测试项目 |
单位 |
指标要求 |
实测指标 |
|
|
X 底轴 |
行程 |
mm |
300 |
300 |
|
补偿后定位精度 |
μm |
±0.75 |
±0.6 |
|
|
双向重复定位精度 |
μm |
±0.5 |
±0.3 |
|
|
直线度 |
μm |
7 |
1.8 |
|
|
工作速度 |
mm/s |
200 |
200 |
|
|
加速度 |
m/s² |
10 |
10 |
|
|
微动步距 |
nm |
30 |
30 |
|
|
Y 上轴 |
行程 |
mm |
300 |
300 |
|
补偿后定位精度 |
μm |
±1 |
±0.65 |
|
|
双向重复定位精度 |
μm |
±0.5 |
±0.2 |
|
|
直线度 |
μm |
7 |
2 |
|
|
工作速度 |
mm/s |
200 |
200 |
|
|
加速度 |
m/s² |
10 |
10 |
|
|
微动步距 |
nm |
30 |
10 |
|
|
Z 轴 |
行程 |
mm |
150 |
150 |
|
补偿后定位精度 |
μm |
±0.75 |
±0.55 |
|
|
双向重复定位精度 |
μm |
±0.5 |
±0.2 |
|
|
工作速度 |
mm/s |
200 |
200 |
|
|
加速度 |
m/s² |
10 |
10 |
|
|
XY |
负载 |
kg |
50 |
50 |
|
Z |
负载 |
kg |
70 |
70 |
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