产品特点
l Ÿ 紧凑式直驱结构 Ÿ 重复定位精度±50nm
l Ÿ 抗蠕动交叉滚柱导轨 Ÿ 直线度和平面度±0.5μm
l Ÿ 微动步距≤2nm Ÿ 可定制高真空版本
应用领域
RBN-XY系列是一款高精度的双轴精密运动台,具有纳米级微动步距,亚微米级重复定位精度,高动态性能,结构紧凑,用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。
结构特点
三片式叠层结构设计,有效地降低工作点的高度,减小阿贝误差对系统精度的影响。直线电机驱动,具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点。运动台在低速运动时保持平稳,在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨,滚柱间线线接触,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。
精度性能
非接触式光栅尺闭环反馈,通过结构设计、材料选择、加工工艺、装配方法等综合把控,获得高精度指标,定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度和平面度±0.5μm。
微动步距
对有微动步距要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤2nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空环境下的版本,真空度10^-7Torr;定制最大加速度,多轴结构等;根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。
规格指标
单位 |
RBN-50XY |
RBN-110XY |
RBN-150XY |
||
行程 |
mm |
50 x 50 |
110 x 110 |
150 x 150 |
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
标准值 |
±0.25 |
±0.3 |
±0.3 |
||
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||
直线度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.25 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
||
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
||
Pitch Roll (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±2.5 |
±3 |
±3 |
标准值 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±1 |
±1 |
±1 |
标准值 |
±2.5 |
±2.5 |
±2.5 |
||
电子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5(选配) |
|||
速度 (空载) (4) |
mm/s |
200 |
|||
加速度 (空载) (4) |
m/s² |
1,(5 定制) |
|||
负载 |
kg |
20 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的精度指标,速度和加速度取决于负载大小。