产品简介
RBN-XY系列双轴精密运动台
RBN-XY系列双轴精密运动台
产品价格:
上架日期:2024-04-24 11:35:50
产地:本地
发货地:本地至全国
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明

    产品特点

     

    Ÿ  紧凑式直驱结构                                                      Ÿ  重复定位精度±50nm

    Ÿ  抗蠕动交叉滚柱导轨                                              Ÿ  直线度和平面度±0.5μm

    Ÿ  微动步距≤2nm                                                        Ÿ  可定制高真空版本

     


    应用领域

    RBN-XY系列是一款高精度的双轴精密运动台,具有纳米级微动步距,亚微米级重复定位精度,高动态性能,结构紧凑,用于飞秒激光加工、光学制造及检测、测试测量、半导体、光纤对准和科研等领域。

     

    结构特点

    三片式叠层结构设计,有效地降低工作点的高度,减小阿贝误差对系统精度的影响。直线电机驱动,具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点。运动台在低速运动时保持平稳,在高速状态不会产生振动。抗蠕动交叉滚柱直线导轨,滚柱间线线接触,运动平稳,交叉排列,多方向受力稳定。

     

    精度性能

    非接触式光栅尺闭环反馈,通过结构设计、材料选择、加工工艺、装配方法等综合把控,获得高精度指标,定位精度±0.1μm,双向重复定位精度±50nm,直线度和平面度±0.5μm。

     

    微动步距

    对有微动步距要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤2nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。

     

    定制化

    可定制高真空环境下的版本,真空度10^-7Torr;定制最大加速度,多轴结构等;根据应用可配置大理石基座、支撑钢架、隔振台等整套运动控制方案。


    规格指标

    型号

    单位

    RBN-50XY

    RBN-110XY

    RBN-150XY

    行程

    mm

    50 x 50

    110 x 110

    150 x 150

    补偿后定位精度 

    Plus (1)

    μm

    ±0.1

    ±0.1

    ±0.1

    标准值

    ±0.25

    ±0.3

    ±0.3

    双向重复定位精度 

    Plus (1)

    μm

    ±0.025

    ±0.05

    ±0.05

    标准值

    ±0.1

    ±0.1

    ±0.1

    直线度 (2)

    Plus (1)

    μm

    ±0.25

    ±0.5

    ±0.5

    标准值

    ±1

    ±1

    ±1.5

    平面度 (2)

    Plus (1)

    μm

    ±0.5

    ±0.5

    ±0.5

    标准值

    ±1

    ±1

    ±1.5

    Pitch Roll (2)

    Plus (1)

    arc sec

    ±2.5

    ±3

    ±3

    标准值

    ±5

    ±5

    ±5

    Yaw (2)

    Plus (1)

    arc sec

    ±1

    ±1

    ±1

    标准值

    ±2.5

    ±2.5

    ±2.5

    电子分辨率 (3) 

    nm

    0.3 5(选配)

    速度 (空载) (4)

    mm/s

    200

    加速度 (空载) (4)

    m/s²

    1,5 定制

    负载

    kg

    20

    注:

    以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/sRenishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

    1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。

    2. 取决于平台安装表面的平面度。

    3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

    4. 空载条件下的精度指标,速度和加速度取决于负载大小。

     

     

     

     

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