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产品简介

QFL-XY系列双轴气浮运动台

产品价格：￥

上架日期：2024-04-23 15:12:29

产地：本地

发货地：本地至全国

供应数量：不限

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详细说明

产品特点

l Ÿ 开式气浮叠层结构 Ÿ 结构紧凑、精度高

l Ÿ 重复定位精度±50nm Ÿ 直线度±0.1μm，平面度±0.15μm

Ÿ 根据需求可定制 Ÿ 高柔线缆管理

应用领域

QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业，由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。

结构特点

双轴气浮运动台采用开式气浮导轨，直线电机和光栅尺组成，永磁预载结构，XY轴叠层具有体积小，精度高、工作点低等特点，能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽，作为底轴，整体性能更稳定。非接触式气浮结构，免维护运行，随着时间推移，不会出现磨损或性能下降。

精度性能

QFL-XY轴双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上为全行程精度指标，由于非接触式运动结构，气浮运动台的跟随误差有了质地提升，精度性能得到显著提高。

线缆管理

使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可提供带屏蔽高柔线缆，提供系统抗干扰能力。

定制化

根据应用，结构可定制化设计，如增加平升或楔形Z轴，转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁，XY轴安装到大理石基座上，Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统，适合高抖动的应用领域。

规格指标

型号		单位	QFL-50XY		QFL-100XY		QFL-150XY
轴系		—	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	50	50	100	100	150	150
补偿后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.1		±0.1
	标准值		±0.2		±0.2		±0.2
双向重复定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.05		±0.05
	标准值		±0.1		±0.1		±0.1
直线度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.05		±0.1
	标准值		±0.25		±0.25		±0.4
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.1		±0.15
	标准值		±0.35		±0.4		±0.5
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.35		±0.4		±0.5
	标准值		±1		±1		±1.5
正交性	Plus ⁽¹⁾	arc sec	5		2		2
	标准值		10		5		5
电子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载) ⁽⁴⁾		mm/s	200
最大加速度 (空载) ⁽⁴⁾		m/s²	1,（5 定制）
最大负载		kg	10
供气压力 ⁽⁵⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

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