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产品简介

RBZ-SG系列精密Z轴

产品价格：￥

上架日期：2024-04-23 15:08:45

产地：本地

发货地：本地至全国

供应数量：不限

最少起订：1台

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详细说明

产品特点

l Ÿ 垂直平升行程可达50mm，整体尺寸结构紧凑，速度可达20mm/s，最大负载60kg

l Ÿ 高精度交叉滚柱导轨，无槽无刷力矩电机，低膨胀系数光栅有助实现纳米级微动步距

l Ÿ 高可靠性驱动机构，使用寿命长

应用领域

RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。

结构特点

RBZ-SG系列直驱结构，承载能力大，在一个长行程的移动范围，保持尽可能低的高度，优化阿贝误差影响，有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。

直驱结构

力矩电机作为直驱方式，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心布置在Z轴中心，有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。

光栅闭环反馈

RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈，直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式，直接测量工件移动时的误差，提高了精度性能。

规格指标

型号		单位	RBZ-20SG	RBZ-35SG	RBZ-50SG
行程		mm	20	35	50
补偿后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.15	±0.15
补偿后定位精度	标准值	μm	±1	±1	±1
双向重复定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.075	±0.075
双向重复定位精度	标准值	μm	±0.5	±0.5	±0.5
直线度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.5	±0.5	±0.75
直线度 ⁽²⁾	标准值	μm	±3	±4	±5
Pitch Roll ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±2.5	±2.5	±3.5
Pitch Roll ⁽²⁾	标准值	arc sec	±5	±5	±7
Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±2	±2	±3
Yaw ⁽²⁾	标准值	arc sec	±5	±5	±7
电子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载) ⁽⁴⁾		mm/s	10	10	20
最大负载		kg	20	40	60

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±1℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-E，测试点在负载板上25mm处

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