型号

单位

QFHDS-300-300

QFHDS-500-500

QFHDS-800-800

轴系

—

X

Y

X

Y

X

Y

行程

mm

300

300

500

500

800

800

补偿后定位精度

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.1

±0.25

±0.25

标准值

±0.2

±0.5

±0.5

双向重复定位精度

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.05

±0.075

±0.1

标准值

±0.1

±0.15

±0.15

直线度 ⁽²⁾

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.05

±0.1

±0.2

标准值

±0.5

±1

±1

平面度 ⁽²⁾

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.2

±0.25

±0.3

标准值

±0.5

±1

±1

Pitch Roll Yaw ⁽²⁾

Plus ⁽¹⁾ 

arc sec

±0.5

±1

±1

标准值

±1

±1.5

±1.5

正交性

Plus ⁽¹⁾ 

arc sec

2

标准值

5

电子分辨率 ⁽³⁾ 

nm

0.3 或 5（选配）

最大速度 (空载) ⁽⁴⁾

m/s

1

最大加速度 (空载) ⁽⁴⁾

m/s²

5,（10, 20, 30 定制）

最大负载

kg

50