等离子体技术目前主要有四个领域,分别是介质阻挡放电(双介质、单介质)、放电(金属、纤维)、板式放电、微波放电,在实际应用中多采用组合模式。
放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为低温等离子体。
在外加电场的作用下,介质放电产生的大量携能电子轰击废气分子,使其电离、解离和激发,然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应,使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质,或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质,从而使污染物得以降解去除。