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岛津TMP-2003LM磁悬浮分子泵，岛津TMP-2003LMC磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口ISO250-K/VG250/ICF305，出气法兰口KF40，抽速可达到2000 L/s，转速为27000 rpm，极限压力10-9 pa，岛津TMP-2003LM-3C磁悬浮分子泵保养对应的控制器为：Shimadzu EI-D2003M
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