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产品简介

苏威哈拉涂层，改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,PFA半导体清洗槽设备涂层加工

产品价格：￥

上架日期：2024-06-13 14:54:10

产地：上海

发货地：浦东新区

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详细说明

PPB级超高纯半导体防腐专用PFA ，高纯PFA阀门，应用石英石晶圆花篮，半导体清洗槽，半导体设备

苏威哈拉涂层，改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半导体清洗槽设备涂层加工

超高纯度接触晶圆的防腐材料金属离子含量低于PPB级，否则会污染晶圆优秀防腐性需要有优秀的耐酸碱性能，抵御各类强酸强碱，防止腐蚀造成金属离子析出厚度及致密性高厚度和致密性，保证研磨液/清洗液不会渗透进入涂层接触基体金属硬度及耐磨性硬度及韧性保证部件可进行二次加工从而保证精度，耐磨性保证了部件的寿命且不能过硬划伤晶圆
产品案例
8/12寸晶圆花篮由于强度载重原因，部分无法使用超高纯注塑材料，改用超高纯氧化硅/氧化铝陶瓷材料，但表面容易划伤晶圆，且接触酸容易造成花篮腐蚀损坏
叉手在转移晶圆的同时，会造成晶圆划伤，需要表面进行防护，同时材料需要有防腐性保证飞溅的酸碱不损坏转运臂

纯度：PPB级
厚度：100-800µm
耐酸：氢氟酸+硝酸
硬度：4H

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上海雍昌环保科技有限公司

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