系统放大倍率和分辨率

几何放大倍率

2100x

总放大倍率

>23000x

细节分辨率

小于1微米

亚微米X射线管

类型

开放式微米管、透射管头、170度辐射角、准直功能

大管电压

160KV

大管功率

20W

靶

无毒载体钨靶，并可旋转以多次使用

灯丝

钨丝，经预调的即插式结构，更换简单快捷，20分钟内完成

真空系统

无油式低真空泵＋涡轮分子真空泵

探测器

数字成像链

高分辨率4” 双视野图像增强器2M像素高分辨率数字相机

操控平台

总体结构

高精度抗震动、5轴同步驱动

大检测范围

410mm×410mm

大工件尺寸/重量

410mm×410mm/5kg

ovhm-斜角视图旋转

可调视角70°，n×360°

操控

操纵杆控制或鼠标(手动模式)和数控编程控制(自动模式)

轴速(X-Y-Z)

10μm/s到80mm/s

操控辅助功能

X射线影像导航图，点击移动功能，点击放大功能， 自动保持视野中心功能，激光定位瞄准

防碰撞系统

防止检测样品与射线管产生碰撞

图像处理软件

phoenix x|act base

全面的X射线图像分析软件

包含图像对比增强和滤波功能、测量功能、数控编程功能

bga|module

BGA焊点自动检测功能

vc|module

空隙面积比自动计算，包括多芯片的贴装空隙检测功能

系统尺寸

尺 寸 (W x H x D)

1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制台）

高度可调控制面板

400mm

大重量

2050kg

辐射安全防护

全*位防护

铅钢防护结构与铅玻璃窗的安全屏蔽室

辐射泄漏剂量率

<1μSv/h，符合国际标准

硬件选项

倾斜/旋转装置

倾斜±45°和旋转n×360°，大工件重量为2kg

辅助定位装置

十字线激光

旋转台用PCB板支架装置

大载板尺寸310mm×310mm (12'×12')

XY-平台

增大检测区域为510mm×510mm (20'×20') (不使用旋转台)