X/Y/Z轴)量测行程(mm) | 150*100*175 | 200*100*175 | 250*150*175 | 300*200*175 | 400*300*175 | 500*300*175 | |
外形尺寸 | 540x560x850 | 540x560x850 | 760x600x900 | 760x600x900 | 970x670x940 | 970x770x940 | |
机台底座材料 | 高精度花岗石 | ||||||
照明系统 | 表面光源与透射光源均用LED,亮度可调 | ||||||
CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | ||||||
X,Y轴量测精度 | (3+L/200)um | ||||||
放大倍率 | Step Zoom光学放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X | ||||||
光学尺解析度 | 1 um | ||||||
重复性 | 2 um | ||||||
操作方式 | 手动 | ||||||
电源供给 | 110V/220V | ||||||
合适温度,湿度 | 温度:19°--24°,湿度:45%--75% | ||||||
保修期 | 一年 |