晶圆研磨_冈本OKAMOTO_GNX200B 衡鹏代理



晶圆研磨_冈本OKAMOTO_GNX200B特点：
·GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。
·耗材损耗小，成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。



晶圆研磨GNX200B规格：
规格                     GNX200B     
MAX加工直径     Ф200    
轴承旋转数     0~3600min-1
轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P
轴承进给速率     1~999μm/min
主轴数                     2
工作轴旋转数     1~300min-1
轴承尺寸（外径）          Ф250    
质量                     3900mm   


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