DENSOKU日本电测荧光X射线式膜厚计EX-851 平山贸易有售
DENSOKU日本电测荧光X射线式膜厚计EX-851 平山贸易有售
DENSOKU日本电测荧光X射线式膜厚计EX-851 平山贸易有售
多重测量、多重校准线
坐标登录，从激光点照射位置将多个点
自动测量。可以用不同的检量线测量多个点。
膜厚测定中光谱显示
通过膜厚测定中的光谱显示多通道的光谱分析高速处理，执行简单的测定物的光谱显示（处理速度2～3秒）
测量部监控画面的显示
将X射线照射部取入Windows画面，显示X射线照射部。
根据准直器，实现大小变化的倍率变更功能。
自动测量模式
在激光指示器照射位置设置测定物，当关闭门时，载物台自动移动
到测量为止自动进行。
手动测量模式
在激光指示器照射位置设置测定物，当关闭门时，载物台自动移动
直到对焦为止。
自动聚焦功能
采用激光自动聚焦。
自动对焦可以提高作业速度。
测量台移动精度1μm
为了提高测量台的移动精度（与当前产品相比为50倍）
通过连续测量或移动到位置，进行正确的舞台移动。
采用双重过滤器
除了NewMeric过滤器之外，还采用了机械过滤器（双过滤器），以便始终获得最高的精度。
报告书制作功能充实
通过采用MS-Window软件，可以简单地导入测量画面，充实报告书制作功能。多任务功能允许在测量过程中进行其他处理，包括报告。
内置5种准直器
准直器的最小值为0.1φmm，可以测量极微小部分。标准·0.1、0.2、0.5、1.0、2.0。
另外还准备了可选的特别规格。
自我诊断功能及X射线管维护功能
通过自我诊断功能，即时应对机器故障的解决。另外，还附加了X射线管的使用时间和耐久时间显示功能，支持维护安全性。
| EX-851 | 測定テーブルサイズ(mm) | 200 x 200 | |
|---|---|---|---|
| 移動量 | X(mm) | 200 | |
| Y(mm) | 200 | ||
| Z(mm) | 90 | ||
| 測定物高さ(mm) | 90 | ||
| 寸法(mm) | 740(W) × 530(D) × 660(H) ※突起物を含まない | ||
| 重量(kg) | 85 | ||
| サンプル荷重(kg) | 1 | ||
| コンピュータ | 寸法(mm) | 本体 182(W) x 383(D) × 372(H) | |
| モニタ 412(W) x 415(D) × 432(H) | |||
| 重量(kg) | 本体 6.8 / モニタ 2.8 | ||
| プリンタ | 重量(kg) | 3.4 | |
| 電源 | AC100V±10V | ||
| X線源 | 油浸式小型微焦点X線管 |
|---|---|
| ターゲット:タングステン | |
| 管電圧50kV | |
| 管電流可変 | |
| 照射方式 | 上面垂直照射方式 |
| 検出器 | 比例計数管 |
| コリメータ | 5種類(自動切換式) |
| 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0Φmm | |
| (オプション) | |
| : 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,Φ | |
| : 0.05×0.5,0.5×0.05, 0.1, 0.2, 0.5gΦ | |
| 試料觀察 | (CCDカラーカメラ(オートフォーカス) |
| コンピュータ | PC/AT互換式 |
| 17インチカラーモニター | |
| プリンタ | インクジェットプリンタ |
| 測定对象 | 原子番号22(Ti) ~82(Pb) |
| 原子番号21以下は吸収法にて測定可能 | |
| フィルタ | 2種類(Co,Ni) 自動切換 |
| 測定可能範囲 | 原子番号22~24: 0.02~約20μm |
| 原子番号25~40:0.01~約30μm | |
| 原子番号41~51: 0.02~約70μm | |
| 原子番号52~82 : 0.05~約10μm | |
| 検量線 | 検量線自動作成機能 |
| マルチポイント検量線 | |
| 補正機能 | ベース補正 |
| アプリケーション | 単層めっき測定 |
| 2層めっき測定 | |
| 3層めっき測定 | |
| 合金膜厚成分比同時測定 | |
| 無電解ニッケル測定 | |
| 測定機能 | 自動測定 |
| 出力様式設定 | |
| スペクトル測定 | |
| 2点間距離測定 | |
| 自動テーブル機能 | オートフォーカス |
| 測定位置(X-Y-Z) | |
| 原点補正機能 | |
| 測定位置確認機能 | |
| 自動較正 | |
| データ処理機能 | 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、cp、Cpk |
| ヒストグラム | |
| プロファイル表示 | |
| 測定データ3次元表示 | |
| X-R管理図 | |
| 安全機能 | X線電源キースイッチ |
| フェールセーフ機能 | |
| その他の機能 | ステージ座標表示 |
| 装置保守整備 |
