供应TORAY酸素浓度计MS-500用于半导体行业 氧气分析仪

供应TORAY酸素浓度计MS-500用于半导体行业 氧气分析仪

供应TORAY酸素浓度计MS-500用于半导体行业 氧气分析仪

特点

可同时测量8个点

可以显示从ppm水平到100%的广泛浓度。

适合搭载在半导体制造装置、真空装置等上

传感器为直插式（真空用NW法兰16/25/40）

对高耐久的传感器实施特殊涂层，进一步提高耐久性

规格

测量原理氧化锆浓淡电池式

形状分离型（转换器：壁挂式、传感器：直插式）

显示方式数字4位显示（浓度显示）

测量范围0-1/100/100/1000ppm/1/10/100vol%O2-10-20～10-0atm

自动范围

重复性±0.5%FS以内0-1%范围以上

±1%FS以内或±0.1ppm大的一方0-1%范围以下

0-1ppm，atm范围在浓度保证范围外

测定点数1～8

样品气体条件压力10-3～200KPa（压力）

流速0.5～5000 mL/min或0 mL/min（自然扩散状态的测定）

湿度露点低于环境温度

温度0～100℃

其他腐蚀性气体（含氟气体、硫化气体等）、含有机硅气体、可燃成分（也含气体）、油分、不含水分

比较气体大气

仅记录计输出传输输出

传输输出RS-232C

无警报输出

预热时间6分钟以内

尺寸MS-500（控制器）92（W）×44（H）×120（D）（不含突起部）

S-510（转换器）100（W）×40（H）×88（D）（不含突起部）

传感器单元SD16NW全长100mm（传感部Φ11×39，机身部Φ40×51）

SD25NW全长100mm（传感部Φ11×42、躯体部Φ40×48）

SD40NW全长100mm（传感部Φ11×41、躯体部Φ40×49）

质量MS-500（控制器）约0.6Kg

S-510（转换器）约0.5kg

传感器单元SD16NW约0.2Kg

SD25NW约0.2Kg

SD40NW约0.35Kg

外部连接真空法兰（NW16、25、40）中任一种

使用电源24VDC±10%