· 测量单位:公制、英制
· 测量原理:触针法
· 传感器:带寻头的电感式传感器,测尖2 µm (80 µin),测力约为0.7 mN
· 测量参数:Ra, Rq ,Rz等值于Ry(JIS),Rmax, Rp,Rp(ASME), Rpm(ASME),Rpk,Rk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo.Rt,R3z,RPc,Rmr等值于tp(JIS,ASME),RSm,R,Ar,Rx
· 程序语言:14种语言可选择包括3种亚洲语言
· 测量范围:350 µm/180 µm/90 µm(自动选择)
· 轮廓度分辨率:32nm,16nm,8nm(自动选择)
· 截止波长lc*::0.25 mm, 0.8 mm, 2.5 mm; automatic (0.010 in, 0.030 in, 0.100 in)
· 测量长度Lt*:1.75 mm, 5.6 mm, 17.5 mm; automatic (0.069 in, 0.22 in, 0.69 in)
· 测量长度(按照MOTIF标准):1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm (0.040 in,
0.080 in, 0.160 in, 0.320 in, 0.480 in, 0.640 in)
· 平定长度ln*:1.25 mm,4.0mm,12.50mm(0.050in,0.15 in,0.50in)
· 其他功能:模块化设置(源代码保护),日期/时间
*符合ISO/JIS标准
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