河南净化工程公司电子厂净化车间节能设计的纳米时代

目前主要使用净化车间洁净技术的行业有电子产业，制药行业，医院手术室，食品罐装行业，高端化妆品制造，生物实验室，精密医疗器械产品的生产制造，以及高端精密零部件的生产等等。在我国，电子行业每年花费在洁净室方面的费用约为50亿元，其中，以集成电路芯片生产线为代表的微电子行业每年约30亿元。电子产品行业需求大且发展迅速，因此电子厂净化车间的建设尤为必要。

根据电子厂净化车间空气循环特点可以将净化车间分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU(风机过滤单元)循环系统。种形式在小规模低等级要求的电子厂净化车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的电子厂净化车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。第二种形式的设计可以满足集成电路制造电子厂净化车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且电子厂净化车间风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的洁净设计方案。

电子厂净化车间FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

洁净系统设计突出节能理念，好的电子厂净化车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本，洁净度安全性，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则电子厂净化车间投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内(比如洁净隧道和微环境)是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制造净化车间的设计建造和节能创新也需要不断提升，为先进产品生产提供保障。

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