名称／商品名 

   热物性显微镜／Thermal Microscope

 测量模式

   热物理性分布测量 （1次元・2次元・1点）

 测量项目  

   热渗透率、（热扩散率）、（热传导率）

 检测光点径

   约3μm

 1点测量标准时间

   10秒

 测量对象薄膜

   厚度 数百nm～数十μm

 重复精度

   耐热玻璃、硅的热渗透率±10%以内

 样品

   ・样品支架 30mm×30mm，厚度5mm，样品表面的镜面需要研磨

   ・板状样品30mm×30mm以内，厚度3mm以内，样品表面需Ｍｏ溅镀 

 使用温度范围

   24℃±1℃（根据设备内部温度感应器）

 平台移动距离

   ・Ｘ轴方向20mm  ・Ｙ轴方向20mm   ・Ｚ轴方向10mm

 加热用激光

   半导体激光波长：808nm

 检测用激光

   半导体激光波长：658nm

 电源

   AC 100V~1.5kVA

 标准配件

   样品支架、基准样品

 *选项

   光学平台、空调机、空调用booth、spatter装置

 本体

   外形尺寸：730(W) x 620(D) x 560(H)mm  重量：80.0Kg

 电源箱

   外形尺寸：620(W) x 480(D) x 310(H)mm  重量：26.4Kg