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                             净化工程概述复合式空气流

不论外在空气前提如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。这既是净化工程所特别设计的房间。控制产品(如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使有限产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。

复合式空气流：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净地道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净地道另有二项长处：A.弹性扩充轻易； B.维修设备时可在维修区等闲执行。(2)洁净管道：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和工作人员及发尘环境相互隔离，少量送风即可得到良好洁净度，可节省能源。药品、食物业界及半导体业界均合用。(3)并装局部洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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