平台规格（mm）

花岗石平台精度等级

000级平面度

00级平面度

0级平面度

1级平面度

平面度公差（um）

300×300×70

1.5

3

5.5

11

300×400×70

1.5

3

6

12

400×400×70

2

3.5

6.5

13

400×500×100

2

3.5

7

14

400×600×100

2

3.5

7

14

400×630×100

2

3.5

7

14

450×600×100

2

3.5

7

14

500×600×100

2

3.5

7

14

500×800×100

2

4

8

16

600×900×100

2.5

4.5

9

18

600×900×130

2.5

4.5

9

18

1000×630×150

2.5

4.5

9

18

1000×750×150

2.5

4.5

9

18

1000×1000×150

2.5

5

10

20

1000×1500×200

2.9

5.7