滑轨管式炉技术参数

石英管尺寸

L1400mm  Φ（60、80、100）

加热元件

掺钼铁铬铝合金电阻丝

测温元件

K型热电偶

加热区长度

400mm  

恒温区长度

200mm

工作温度

≤1100℃

控温模式

模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

升温速率

≤20℃/min

电功率

AC220V/50HZ/3KW

质量供气系统技术参数

外形尺寸

600x600x600mm

标准量程

50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；

压力表测量范围

-0.1Mpa～0.15Mpa

极限压力

3MPa

针阀

316不锈钢

截止阀

Φ6mm 316不锈钢针阀

电功率

AC220V/50HZ/20W

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

准确度

±1.5%

线性

±0.5～1.5%

重复精度

±0.2%

接口

Φ6,1/4''

真空系统技术参数

外型尺寸

600×600×600mm

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

抽气速率

4L\s

极限真空

4X10-2Pa

实验真空度

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

3W-300W   5W-500W可选

最大反射功率

200W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷