产品参数 | |||
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品牌 | 皓睿光电 | ||
厚度 | 430um | ||
直径 | 3英寸(76.2mm) | ||
特性 | 蓝宝石晶体 | ||
颜色 | 白色 | ||
是否PSS | 否 | ||
倒角形状 | T | ||
加工定制 | 是 | ||
SORI翘曲度 | 20um | ||
晶向 | C向 | ||
抛光 | 单抛双抛 | ||
抛光粗糙度 | 小于0.3nm | ||
包装 | 百级洁净 | ||
25片卡塞盒 | |||
可售卖地 | 全国 | ||
用途 | 外延衬底 | ||
载片 | |||
窗口材料 | |||
材质 | 泡生法KY蓝宝石晶体 |
产品规格
材质: >99.99高纯度氧化铝晶体(泡生法)
晶向:
* C面(0001) (标准蓝宝石衬底)
* C轴向A轴偏转 0.5-6度
* C轴向M轴偏转 0.5-6度(斜切蓝宝石衬底)
* A面(11-20)
* M面(1-100)
* R面(1-102)
直径:
* 10*10mm,15*15mm,20*20mm(方片)
* 50.8mm(2英寸),76.2mm(3英寸),100mm(4英寸),150mm(6英寸),200mm(8英寸)
* 104mm(4英寸载片尺寸可变),159mm(6英寸载片尺寸可变)
厚度:
* 150微米/300微米/400微米/430微米(2英寸标准厚度)
* 500微米/650微米(4英寸标准厚度)/1000微米(6英寸标准厚度)
* 厚度可选较多请联系客服确认
抛光: 单面抛光/双面抛光 (可选)
CMP抛光面粗糙度:Epi-ready Ra总厚度公差TTV:翘曲度BOW:参考规格书
弯曲度Warp:参考规格书
包装:25片/盒多片盒包装,双层PE袋抽真空。
*特定规格产品请向客服索要产品规格书。
关于蓝宝石
* 1992年日本工程师中村修二划时代地利用蓝宝石衬底制备了GaN外延层并顺利实现蓝光LED制作之后,蓝绿光LED实现了井喷式的大爆发,蓝宝石具有超高的硬度,在高温下物理、化学性质稳定,光学性能优秀,逐渐成为蓝绿光LED的主流选择。
* 蓝宝石晶体具有各向异性,C面(0001)是最为常用的蓝宝石晶面,其他主要晶面有A面(11-20),M面(1-100),R面(1-102)。
* 在斜切蓝宝石衬底上生长晶圆级二硫化钼(MoS2)单晶薄膜,斜切蓝宝石衬底是指衬底端面晶向为C轴【0001】朝向A轴【11-20】或者M轴【1-100】偏转一定的角度,一般是0.5度-6度区间。
* 蓝宝石晶片也可以作为光学窗口、载片、面板使用。蓝宝石的硬度高,物理化学性能稳定,也被用于制作各种功能性产品,如坩埚、轴承、垫片,及其他一些零部件。
* 图形化衬底(PSS)是一种特殊的蓝宝石衬底,通过蚀刻工艺在蓝宝石表面形成周期性亚微结构图形。PSS能有效降低异质外延因晶格常数和热膨胀系数失配引起的线位错密度,提高器件内量子效率;图案还能散射有源区出射的光子,增加光子出射到器件外部的概率,提高LED器件的光提取效率。