Energetiq的LDLS光源采用激光驱动等离子体发光的技术,使用连续激光加热氙离子体产生高效的宽频谱光,具有高亮度、高稳定性、使用寿命长、结构紧凑的特点。光谱范围170-2100 nm,几乎覆盖深紫外到近红外全波段。