PLS 960 系列多点液位探头采用套筒式紧凑结构设计，主要应用于半导体
行业。 适合起泡器、试管、 安瓿瓶和供应罐内高纯度化学品液位的高精度和
高可靠性的测量。液位计在化学气相沉积过程中至关重要，如 ALD， CVD，
PVD 等半导体晶圆制造过程。 PLS 9600 系列多点液位计专业用于检测非常昂
贵的超高纯度化学品（DEAT， DMAH， TAETO， TEOS 和金属化初级粒子等）
的确切数量，减少化学废物，增加产量和利润。

该液位计采用超声波技术检测液体在容器中的存在状态，无可移动部
件，液位检测不受被测物的介电常数、 种类、 颜色、 密度和粘度的影响。
探头采用 316L 不绣钢材质，结构上可通过 VCR 等与容器连接，在运输和
使用过程中与容器不分离 ， 通过了 5E-09 ATM-CC/Sec HE 的真空泄漏测试。
K 型温度计可选。

模块不需要校准。通过模块的算法和控制， 探头可不受被测物的介电常
数、种类、颜色、密度和粘度的影响均可准确测量。每个传感点位有 1A
SPDT 继电器输出，下列型号是第 5 个继电器的选项。
P/N 096-20004:- 4 X 1A SPDT with an Auto-Fill / Auto-Empty relay (B & C)
P/N 096-20014:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay (no sensor, lower point dry while
point above shows wet).
P/N 096-20034:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay and Thermocouple K-type display.
P/N 096-20054:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay in Fail-safe mode.
P/N 096-20094:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay and Thermocouple K-type display
in Fail-safe mode.

探头如所述要求装入容器，注意不要损坏 VCR 接头。进料前先做泄漏测
试。
模块外壳有 4 个安装孔（参考下图尺寸图）。确保模块外壳用导通（金
属） 螺丝固定在接地平面台上。 撕掉模块电路一个固定孔上的标签以确保与
接地平面台上的稳固连接。3 | P a g e
从负极接地线到安装孔，以确保负极与接地平面台同样是地极。 (参考如
下接线连接图)
输入电源是 24VDC /- 10 。