规格手册

光栅系统具有极好的抗污染能力、其超凡的技

术指标更是位置反馈领域的一大新突破。

采用 直线钢带和因钢栅尺或圆光栅，在100?m/s

(36?000?rev/min)?的 速下可实现1?nm的分辨率。

非接触式光栅：

无需电池

?宽松的安装公差使安装简单

l?系统精度为±?0.7″（光栅直径

为413mm）

l?角度分辨率为0.01″

l?多种直径和刻线数，与一系列的

工业标准的控制器兼容（直径从

52?m?m?到413?m?m，刻线数从

4,096?到64,800?）

l?高速、非接触的光学测量系统

l?零反向间隙

l?具有 的锥度基面安装方式，

使安装简单、误差 小

l?与高真空兼容

l?外型小巧，易于集成

l?低质量、低转动惯量

l?有100，150?和200?m?m?外径的

转动惯量的圆光栅可选

RGH20?简介

l?与20μm?栅距RESR?圆光栅兼容

l?光学滤波系统提供 的抗污迹

能力

l?小巧坚固的外壳

l?工业标准的数字和模拟信号输出

l?内置细分卡和安装LED?指示灯

l?分辨率从5?μm?，1?μm，0.5?μm?，

0.1μm，50nm，20nm?到10nm

l?参考零位或单限位开关传感器

l?高柔性双屏蔽8?芯电缆

l?三态低电平报警信号或全报警输出

l14.8mm（或10.5?mm?）×36.

0mm×13.5mm?(H×L×W)

l?可选高真空兼容型

RGH41?被用来读取RGS40-S?金属光栅，

而RGH40?则用于读取RGS40-G?玻璃光

栅。同样，标准配置包括有磁性零位

标记和双限位输出。两种读数头型号

都配有雷尼绍 的L?E?D?安装指示灯。

RG4?本质上采用了与RG2?相同的光

学原理。但假如这样的话，下面图示中

的红外发光二极管LED?发出的光与光栅

轴线方向成90°反射，而不是与之相平

行。

指示光栅通过与RG2?相同的方式被

定位，以便在检测平面内产生正弦干涉

条纹。

RG4?系列光栅的工作原理允许使用

多种类型的光栅，例如：

1?）表面涂漆，反面具有自粘层的

RGS40-S?镀金钢带光栅。使用

一系列 的光栅安装工具，

便可很方便的实现光栅的连续

安装。

2?）长度较短并需要精度预校准的

镀铬玻璃光栅。雷尼绍提供单

根长度 长为1m?的RGS40-G?玻

璃光栅。

3?）用户自行设计的反射式刻划直

线光栅和圆钢带光栅

RG4?读数头继承了RG2?短周期误

差小的优点，典型的周期误差为±0.

25μm。RGS40-S?规定的线性度在

60mm?长度上仅有±1μm?并且在任意

1m?的长度上低于±3μm。RGS40-G

玻璃光栅的规格请参阅下页。

RG4?系列产品种类

RGH41

l?与RGS40-S?钢带光栅兼容

l?小巧坚固的外壳

l?宽松的安装调整间隙和公差

l?工业标准的数字和模拟信号输出

l?内置细分卡和安装LED?指示灯

l?分辨率从10μm，5μm?，2?μm?到1μm

l?参考零位和双限位开关传感器

l?高柔性双屏蔽12?芯电缆

l?三态低电平报警信号或全报警输出

l?16.0mm×44.0mm×27.0mm?(H×L×W)

RGH34

l?与RGS40-S?钢带光栅和其它40μm?反射光栅兼容

l?与40μm?的RESR?圆光栅兼容

l?超小、紧凑的读数头

l?宽松的安装调整间隙和公差

l?质量<2g

l?工业标准的数字和模拟信号输出

l?紧凑的PCB?接口提供一系列的插补输出

l?分辨率从10μ?m，5μ?m，2μ?m，1μ?m，0.?4μ?m?到

0.2μm

l?FPC?带状电缆

l?参考零位和单限位开关传感器

l?三态低电平报警信号或全报警输出

l?9.5mmX15mmX15mm(HxLxW)

RGH40

l?与RGS40-S?钢带光栅兼容

l?与40μm?的RESR?圆光栅兼容

l?小巧、紧凑的读数头

l?宽松的安装调整间隙和公差

l?内置细分卡和安装LED?指示灯

l?工业标准的数字和模拟信号输出

l?紧凑的PCB?接口提供一系列的插补输出

l?分辨率从10μ?m，5μ?m，2μ?m，1μ?m，0.?4ìm?到0.2?μ?m

l?参考零位和单限位开关传感器

l?高柔性双屏蔽12?芯电缆

l?三态低电平报警信号或全报警输出

l?17mmX44mmX27mm(HxLxW)

RGH40-G

l?镀铬刻线栅距为40?μ?m的玻璃光栅尺

l?标准测量长度有1?2?0?、1?70?、2?2?0?、2?7?0?、3?0?0?、

500、750mm?和1000mm?可选

l?热膨胀系数<8.3?-?8.5ppm/℃

l?精度：±?4.16μ?m/m

l?可用金属夹或可选的自粘安装方式

l?同RGH40?读数头系列兼容

G?4?的优点是安装简便、容污性强，这种

优点被用于X?Y?系统。紧凑的读数头使用玻璃网格板的“棋

盘”式镀铬刻线作为指示光栅尺，该系列有不同规格。

工作原理

同RG2?和RG4?系统一样，RGH42?读数头的各光学元件读

取来自刻线的和 弱的反射光。因为反射区域和非反射

区域组成的图案使X?轴和Y?轴都有反射光，由读数头中互成

90o的两个光学元件分别读取。

光栅尺

光栅板由热膨胀系数为8μm/m/℃的玻璃制成。镀铬

光栅板X?轴和Y?轴的栅距都是40μm，可与RG4?读数头兼

容。平面光栅的尺寸可达200mmX200mm。

读数头

RGH42?读数头的两个光学元件集成在一个壳体内，分别

读出X?,?Y?轴的信号并通过两路独立的电缆输出。

读数头输出为1Vpp?的标准模拟量输出，一系列RGE?细

分卡可输出数字量方波信号，分辨率为10?μ?m?到0?.?1μ?m。

细分卡内置安装LED?指示灯。

读数头的安装面可为顶部、底部或侧面，标准塑料片

可调整安装间隙。

性能

与RG4?读数头一样，RGH42?的周期误差小，典型情况

为±?0.25μ?m 的平面光栅（70mmX70mm）精度为±

2.5?μ?m? SDE（细分误差）。

更多联系：于工? 18510085666? ?QQ：289321223??