产品简介
详细说明
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 材质 | 铝合金（可定制不锈钢腔体） | ||
| 尺寸 | 900*1720*1000mm | ||
| 频率 | 13.56M/40KHz | ||
| 密封性 | 军工级焊接密封 | ||
| 电极板有效尺寸 | 345×344mm（宽×深） | ||
| 电极板布置方式 | 水平布置，可活动抽取 | ||
| 真空管路 | 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 | ||
| 流量范围 | 0-300SCCM | ||
| 系统控制 | PLC | ||
| 安装面积 | 1500mm*1500mm | ||
| 腔体容积 | (450*470*450)mm | ||
| 单次处理时间 | 工艺不同，处理时间不同，表面活化改性3-10min | ||
| 工作真空度 | 20Pa-50Pa | ||
| 抽真空时间 | ≤80S | ||
| 规格 | 10到200升mm | ||
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