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产品简介

微波等离子清洗机

产品价格：￥0

上架日期：2012-11-20 10:42:18

产地：山东招远

发货地：山东招远

供应数量：不限

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详细说明

WB300采用专利高密度微波等离子技术，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。　微波等离子体系统是下列用途的理想方式：

等离子体表面改性

有机物表面等离子体清洁

邦定强度增强

等离子体刻蚀应用

等离子体灰化应用

增强或减弱浸润性

其它等离子体系统应用

>> 技术参数 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)

1000(W)×800(D)×1750(H)mm

◆ 仓体结构(石英，约20升)

Φ 245mm ×400Lmm

◆ 等离子发生器(德国)

频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作

◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

英国爱德华斡旋式干泵 GV40

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管

◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

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招远普斯玛等离子技术有限公司

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