570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 仓体结构(不锈钢,约20升)420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 电极面积250(W) ×190(D) mm,3层
RIE or DP模式自动转换
频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,
性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统德国莱宝(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
进口气动角阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制PID闭环自动稳压控制
2路工艺气体+1路氮气配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路