产品简介
真空等离子清洗机
真空等离子清洗机
产品价格:¥0
上架日期:2012-11-20 10:09:43
产地:山东招远
发货地:山东招远
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明
    外形尺寸

     570(W)×420(D)×740(H)mm

      仓体结构(不锈钢,约20升)

     420(W)×270(D)×170(H)mm

      电极面积

     250(W) ×190(D) mm,3层  

      清洗模式

     RIE or DP模式自动转换

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,

    性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

     进口气动角阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体+1路氮气配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

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    招远普斯玛等离子技术有限公司
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