产品简介
等离子清洗机
等离子清洗机
产品价格:¥0
上架日期:2012-11-20 10:01:18
产地:山东招远
发货地:山东招远
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明
    设备外形尺寸

     630(W)×650(D)×420(H)mm

      仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃,约10升)

     Φ215 × 300(L) mm

      电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

     180(W) ×210(D) mm

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

     SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

                          
     
     
    设备外形尺寸

     630(W)×650(D)×420(H)mm

      仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃,约10升)

     Φ215 × 300(L) mm

      电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

     180(W) ×210(D) mm

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

     SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

                          
     
     
    设备外形尺寸

     630(W)×650(D)×420(H)mm

      仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃,约10升)

     Φ215 × 300(L) mm

      电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

     180(W) ×210(D) mm

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

     SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

                          
     
     
    设备外形尺寸

     630(W)×650(D)×420(H)mm

      仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃,约10升)

     Φ215 × 300(L) mm

      电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

     180(W) ×210(D) mm

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

     SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

                          
     
     
    设备外形尺寸

     630(W)×650(D)×420(H)mm

      仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃,约10升)

     Φ215 × 300(L) mm

      电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

     180(W) ×210(D) mm

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

     SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

                          
     
     
    设备外形尺寸

     630(W)×650(D)×420(H)mm

      仓体结构(耐热玻璃或石英玻璃,约10升)

     Φ215 × 300(L) mm

      电极面积(外置电容耦合或电感耦合电极)

     180(W) ×210(D) mm

      等离子发生器(韩国KM)

     频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

      控制系统

     触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,并具有手动、自动两种模式

      真空系统

     德国莱宝(Leybold)真空泵   D16C (20m3/h)

     SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

      压力控制

     PID闭环自动稳压控制

      气路系统

     2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

                          
     
     

    台式小型机,PLC人机自动控制,内部无电极,用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。

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