O₃

整体系统组成见《见下图》。

臭氧薄膜复合枪图：

洁净空气由无油空压机输出，压缩空气经主管到普通过滤后，经过普通精密过滤器，由流量计和压力变送器检测压缩空气的流量和供气压力，经吸附式干燥机进行深度除水，再经除油水过滤后进入，使气源露点达到要求的5--10℃，再经除尘过滤器使粉尘颗粒度小于1μm，成为合格的原料气源（达到食品级卫生许可要求）。

合格的原料气源经减压阀进入氧气发生器，通过变压吸附法（美国美国UOP公司的制氧分子为吸附剂）分离器把多余氮气排除留下剩余氧气，让氧气浓度达到90%以上才释放输出，，从而获取符合医用标准的高浓度氧气。后在输入到臭氧发生器中，在臭氧发生器的高频高压电场内，氧气(O₂)转换臭氧(O₃)，产品气体为臭氧化气体，经流量、压力调节阀调节和涡街流量计、压力变送器及温度变送器检测流量、压力、温度，以及臭氧监控仪检测臭氧浓度后，臭氧发生器所产生的臭氧经涡街流量计和总管压力变送器检测总流量及压力后进入水冷却臭氧复合管。臭氧复合管采用多孔喷射技术让臭氧直接与薄膜接触氧化，从而大大提高了薄膜的粘合度。

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