薄膜测厚仪用于测量较软或较硬材料薄膜厚度,根据测量材料可选择不同测力范围满足不同测量任务需求。低测力可达0.06N,高分辨率0.01μm。
分辨率:0.1μm
测力:0.3-1.3N(根据需要选择)
分辨率:1μm
测力:0.4-1.6N(根据需要选择)
分辨率:0.01μm
测力:0.06-0.8N(根据需要选择)