1.1 设备概况：

1.1.1 主要功能：设备主要采用人工上下料、机械手自动实现槽体之间转移方式，对2--12英寸石英炉管或其他石英配件进行酸液浸泡、水槽喷洗、水槽溢流漂洗、水槽氮气鼓泡等方式进行处理，从而达到一个优异的清洗效果；

1.1.2 被清洗炉管尺寸（Max）：2--12英寸的石英炉管，；

1.1.3 设备形式：无尘室（class 1000级 fab）内放置型；

1.1.4 清洗时间：0~999MIN（可根据实际工艺时间而定）；

1.1.5 操作形式：触摸屏 自动/手动操作；

1.2 设备组成

1.2.1 该设备主要由壳体部分、槽体部分、管路系统、机械臂机构、排风系统、电控部分及防漏液盘组成；

1.3 设备描述

1.3.1 该设备是一个全自动（清洗）的处理设备；

1.3.2 触摸屏（PROFACE、OMRON）显示 / 检测 / 操作；

1.3.3 清洗工作过程由欧姆龙或三菱PLC 控制；

1.4 设备特性

1.4.1 需要漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;

1.4.2 需要设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;

1.4.3 设备上层为电器控制系统、机械臂机构及抽风系统，中层为工作区，下层和后下部为管道安装维修区；

1.4.4 设备结构设计必须合理，方便工程师维护、维修，适宜生产线上大批次操作；

1.4.5 机台要求有回收水装置，在排水管路上安装一个三通装置，并在程式中选择排水路径，将水排入纯回水管路或者DHF管路；

1.4.6 配备一个可移动的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat；

1.4.7 在水槽左右侧壁处需要开溢流口（开关状态可受控制）；

1.4.8 在整台设备的底部装有防漏液盘；

1.4.9 台面网孔设计；

1.4.10 水平调整：通过地脚调整设备水平；

1.4.11 设备移动：设备装有树脂脚轮以备设备移动之用；

1.4.12 上料平台操作面高度：950mm；

1.4.13 操作面门设计：单开门透明的PVC活动门（上下推拉+配重）；

1.4.14 对水槽和酸槽清洗操作流程可自由编写程式，并自动运行；

1.4.15 在水槽两头需要安装水管和气管各一支；

1.4.16 设计内外槽：内槽为酸槽，外槽为水槽；（内外槽，分别有溢流功能）

1.4.17 使用酸液为：49%HF与DIW配比后的HF

1.4.18 各槽材质：酸槽为PVDF（耐化学腐蚀），水槽为NPP（耐腐蚀）；

1.4.19 防漏槽材质为：PP；

1.4.20 机械手臂需要能够上下左右移动（上升时需要有略倾斜功能----左右落差3cm， 将酸液倒出）；

1.4.21 机械手臂需要采用伺服电机控制；

1.4.22 使用的DI WATER和酸液（HF49%）都是由厂务系统提供；

1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存档和查看；

1.4.24 自动清洗流程

人工上料→选择好相应的清洗时间→按AUTO（RUN，door open interlock）键→系统自动移动到酸槽进行酸洗（右边比左边低3CM下行）→等泡酸时间结束系统自动将Quartz提起（右边比左边低3CM上行）→系统自动移动到水槽进行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有动作完成后蜂鸣器提示（1分钟）→人工下料；