CXS系列旋转冲洗甩干机是我所根据市场需求研制开发的系列高洁净度冲洗甩干设备。该产品主要用于硅圆片、掩模板、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构（也可按用户要求配置）

性能特点

l  采用高性能可编程控制器实现逻辑控制。

l  采用彩色触摸显示屏监控，可存储百种用户工艺菜单。

l  结构采用净化处理技术。

l  去离子水电阻率监控。

l  防静电控制。

l  氮气温度控制。

l  腔体温度控制。

l  转轴氮气密封。

l  可选无刷电机驱动。

l  旋转载体定位。

l  故障诊断、显示及报警。

l  可按用户特殊要求配制。

主要技术参数

l  最大加工硅片尺寸： 8″（片架连接按用户要求配制）

l  工作腔数量 ： 1～2个（可选）

l  去离子水耗量： 5L/min（单腔单片盒）

l  去离子水压力 ： 0.23～0.28MPa（2.3~2.8kgf/cm²）

l  氮气耗量 ： 125L/min（单腔单片盒）

l  氮气压力 ：0.25~0.3 MPa（2.5~3 kgf/cm²）

l  氮气过滤精度 ： ≤0.005μm

l  氮气温度控制：80℃

l  旋转腔转速：300～2400r/min

l  电源 ：AC220V±AC22V

l  外型 ：765×460×1800（双腔单片盒）

         730×460×1300（单腔单片盒）

l  重量： value="420" unitname="kg" w:st="on">420kg（双腔单片盒）

                     value="240" unitname="kg" w:st="on">240kg（单腔单片盒）

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