气体种类繁多,性质各异,因此,气体传感器种类也很多。按待检气体性质可分为:用于检测易燃易爆气体的传感器,如氢气、一氧碳、瓦斯、汽油挥发气等;用于检测有毒气体的传感器,如气、硫氢、砷烷等;用于检测工业过程气体的传感器,如炼钢炉中的氧气、热处理炉中的二氧碳;用于检测大气污染的传感器,如形成雨的NOx、CH4、O3,家庭污染如醛等。按气体传感器的结构还可分为干式和湿式两类;按传感器的输出可分为电阻式和费电阻式两类;按检测院里可分为电学法、电气法、光学法、学法几类。
人们已经发现SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料都存在气敏效应。用这些金属氧物制成的气敏薄膜是一种阻抗器件,气体分子和敏感膜之间能交换离子,发生还原反应,引起敏感膜电阻的变。作为传感器还要求这种反应必须是可逆的,即为了消除气体分子还必须发生一次氧反应。传感器内的加热器有助于氧反应进程。
1、灵敏度 当氢气浓度较低时,氢气敏MOSFET灵敏度很高,1ppm氢气浓度变,△UT的值可达到10mV,当氢气浓度较高时,传感器的灵敏度会降低。 2、对气体选择性 钯原子间的“空隙”恰好能让氢原子通过,因此,钯栅只允许氢气通过,有很好的选择性。 3、响应时间 这种器件的响应时间受温度、氢气浓度的影响,一般温度越高,氢气浓度越高,响应越快,常温下的响应时间为几十秒。