规格（长 × 宽） mm

检验平板精度等级

高度mm

1

2

3

平面度公差 (μm)

100×100

9.0

18

50

100×200

9.8

19.6

50

200×200

10

20.5

50

200×300

11

22

50

300×300

11

22

80

300×400

12

24

85

400×400

12.5

25

85

400×500

13

26

66

90

500×500

14

28

68

95

400×600

14

27.5

70

95

500×600

14.2

28.5

71

120

500×800

15.5

31

78

140

600×800

16

32

80

160

600×900

16.5

33

83

160

1000×750

18

36

90

180

1000×1000

20

40

97

180

1000×1200

20.5

41

103

180

1000×1500

22

45

112

190

1000×2000

26

52

130

200

1500×2000

28

56

140

230

1500×3000

35

70

174

260

2000×3000

37

74

184

260

2000×4000

44

88

219

280

2500×6000

60

120

300

300

3000×6000

62

124

308

350